Высокие требования к качеству воды предъявляются в производстве печатных плат, интегральных микросхем, полупроводников, жидкокристаллических дисплеев и микропроцессоров. Для предприятий микроэлектроники мы реализуем проекты систем получения, хранения и распределения чистых сред:
- воды деионизованной с удельным сопротивлением до 18 МОм*см / ультрачистой воды
- сжатого воздуха
- инертных газов (азота, углекислого газа, аргона)
ФАРМСИСТЕМЫ производят комбинированные установки получения ультрачистой воды на базе обратного осмоса, электродеионизации CEDI, ультрафильтрации.
Поскольку к воде в микроэлектронике предъявляются особые требования по содержанию механических частиц, органических веществ и ионному составу, в наших системах используются высокочистые инертные полимерные материалы (PP натуральный полипропилен, PVDF - поливинилиденфторид). Монтаж осуществляется с помощью автоматических машин бесшовной (ВСF) и инфракрасной (IR) производства компании AGRU (Австрия).
Для систем хранения и распределения ультрачистой воды мы применяем дополнительные методы дегазации, ультра- и субмикронной фильтрации, УФ-установки с длинной волны 185 нм, так для емкостей хранения воды используется бланкетирование с помощью инертного газа азота. Немаловажную роль в обеспечении качества деионизованной воды играют современные методы контроля, включая определение общего органического углерода (ТОС), удельного сопротивления и содержания растворенных газов.